MSG-DM系列镀膜用直流电源是根据真空镀膜设备的特点定为设计的新型产品,针对真空镀膜中需求的灯丝电源、电子枪、偏转线圈、磁场线圈等电势,采用先进的PWM脉宽调制技术,具有良好的动态特性和抗干扰能力,动态响应时间≤20mS。设计有电压、电流双闭环控制电路,可实时对输出电压电流的控制,能有效解决溅射过程中阴极靶面的不清洁引起弧光放电造成大电流冲击引起电源的损坏问题。采用数字化DSP控制技术,自动控制电源的恒压恒流状态。在起弧和维弧时能自动快速控制电压电流使起弧和维弧工作更稳定,稳流精度大大提高,能有效节约靶材用量,提高产能,保证镀膜质量。
产品亮点:
Ø ZVS零电压移相全桥技术,高精度输出电压、电流
Ø 标准19尺寸机箱,合理利用实验室、工厂空间
Ø 自有EMI电磁兼容技术,对电网输入、直流输出超低干扰
灯丝电源 | |||
直流电压(V) | 灯丝电流(A) | 功率(W) | 备注 |
5~150 | 3~30 | 5K | |
偏转线圈电源 | |||
线圈电压(V) | 线圈电流(A) | 功率(W) | |
5~100 | 10~500 | 50K | |
线圈加热电源 | |||
线圈电压(V) | 线圈电流(A) | 功率(W) | |
20~200 | 10~500 | 100K | |
电子枪电源 | |||
电子枪电压(V) | 电子枪电流(A) | 功率(W) | |
500~10K | 0.1~10 | 100K |
世纪芯长期对外提供专业化的故障电路板维修服务,配备先进的检测仪器,具有先进的检测手段和高水平的维修队伍,对可编程器件进行储存、烧录和修改,且维修设备种类多,经验丰富,器件资料齐全,已成功精修了各种设备上的电路板和控制板,修复率极高,在业界有极高的声誉。