KVMEN® AM系列数字式自动匹配器,采用目前最先进的数字式网络匹配平台,利用我们成熟的专业技术力量,AM自动匹配器以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。与传统模拟调谐方法相比,数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。
性能参数 | AM-1310 | AM-1315 | AM-1320 |
频率 | 13.56MHz ±0.005% (27.12MHz\40.68MHz ) | ||
最大传输功率 | 1000w | 1500W | 2000W |
反射功率(最大功率时) | <3w | <3w | <5w |
最大负荷电流 | 30ARMS | 30ARMS | 30ARMS |
最大负荷电压 | 7500VRMS | 7500VRMS | 7500VRMS |
传输效率 | >90% | ||
匹配时间 | 1~3s | ||
主电容 | 双真空电容 | ||
可匹配阻抗实部范围 | 0~80Ω | ||
可匹配阻抗虚部范围 | -j200~~+j200 | ||
RF输出连接器 | 50 Ω, L29,铜带输出,可自定制 | ||
控制接口 | 自动手动控制窗口 | ||
冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷+水冷 |
供电电压 | 单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ | ||
重量 | 7.5KG | 8KG | |
尺寸 | 430mm(D)x220mm(W)x130mm(H)或可定制 |
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